901090. PHẠM HỒNG PHÚC Thiết kế và chế tạo các bộ vi chấp hành dựa trên công nghệ vi cơ điện tử MEMS: Sách chuyên khảo dùng cho sinh viên, học viên cao học, nghiên cứu sinh các ngành kỹ thuật/ Phạm Hồng Phúc (ch.b.), Nguyễn Tiến Dũng, Hoàng Trung Kiên.- H.: Khoa học và Kỹ thuật, 2020.- 167tr.: hình vẽ, bảng; 24cm. Thư mục: tr. 153-154. - Phụ lục: tr. 155-167 ISBN: 9786046717263 Tóm tắt: Giới thiệu về bộ vi chấp hành MEMS; thiết kế bộ vi chấp hành kiểu tĩnh điện răng lược; thiết kệ bộ vi chấp hành kiểu điện nhiệt chữ V; công nghệ chế tạo các bộ vi chấp hành; mô hình hoá và điều khiển bộ vi chấp hành (Vi cơ học; Điện tử; ) [Vai trò: Hoàng Trung Kiên; Nguyễn Tiến Dũng; ] DDC: 621.381 /Price: 135000đ /Nguồn thư mục: [NLV]. |