983676. VŨ NGỌC HÙNG Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử/ Vũ Ngọc Hùng.- H.: Bách khoa Hà Nội, 2016.- 255tr.: minh hoạ; 24cm.- (Tủ sách Ngành Khoa học và Kỹ thuật vật liệu) Thư mục: tr. 251 ISBN: 9786049388651 Tóm tắt: Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói (Công nghệ điện tử; Cơ điện tử; Vi hệ thống; ) DDC: 621.381 /Price: 115000đ /Nguồn thư mục: [NLV]. |
1228666. NGUYỄN NAM TRUNG Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống/ Nguyễn Nam Trung.- H.: Khoa học và Kỹ thuật, 1999.- 155tr : bảng, hình vẽ; 24cm. Thư mục: tr. 157 Tóm tắt: Một số kiến thức cơ bản của công nghệ vi hệ thống: Vi điện tử, vi cơ silic, vi cảm biến silic trực tiếp, vi cảm biến gián tiếp, vi động {Công nghệ; Vi hệ thống; Vi điện tử; } |Công nghệ; Vi hệ thống; Vi điện tử; | DDC: 621.381 /Price: 17000đ /Nguồn thư mục: [NLV]. |
1665662. NGUYỄN, NAM TRUNG Cơ sở công nghệ vi điện tử & Vi hệ thống/ Nguyễn Nam Trung.- Hà Nội: Khoa học và kỹ thuật, 2001.- 157 tr.; 24 cm. (Microelectronics; ) |Công nghệ vi điện tử; Kỹ thuật điện tử; | DDC: 621.381 /Nguồn thư mục: [SCTHU]. |
881207. CHU MẠNH HOÀNG Cảm biến và vi chấp hành vi hệ thống cơ - quang - điện tử/ Chu Mạnh Hoàng.- H.: Khoa học và Kỹ thuật, 2021.- 255 tr.: minh hoạ; 24 cm. Thư mục cuối mỗi chương ISBN: 9786046719311 Tóm tắt: Trình bày kiến thức về các cơ chế nhạy ứng dụng trong cảm biến MEMS/MEOMS; cảm biến vật lý và các cơ chế vận hành MEMS/MEOMS; các lò xo vi cơ ứng dụng trong MEMS/MEOMS; bộ vi dịch chuyển dựa trên chấp hành tĩnh điện (Cảm biến; Hệ thống vi cơ điện tử; ) DDC: 621.381 /Price: 145000đ /Nguồn thư mục: [NLV]. |
1319627. NGUYỄN NAM TRUNG Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống/ Nguyễn Nam Trung.- H.: Khoa học và Kỹ thuật, 2001.- 157tr : hình vẽ; 24cm. Thư mục: tr. 157 Tóm tắt: Lịch sử phát triển công nghệ vi điện tử. Giới thiệu: vi điện tử, vi cơ silic, vi cảm biến silic trực tiếp, vi cảm biến gián tiếp và vi động {Công nghệ; Vi hệ thống; Vi điện tử; } |Công nghệ; Vi hệ thống; Vi điện tử; | /Price: 18000đ /Nguồn thư mục: [NLV]. |